--- pcr_id: pcr.metal-products-machinery-and-equipment.special-purpose-machinery.parts-for-the-goods-of-subclass-44918 status: candidate language: zh-CN sync_with: pcr.en-US.md --- # 半导体、集成电路及平板显示制造机器专用零件 ## 1. 范围与适用性 本PCR形成专用于或主要用于44918机器的验收零件工厂前景数据。保持半导体晶锭晶圆器件集成电路平板显示母机，包含掩模光罩制造修理、器件集成电路组装及其专用起重搬运装卸。供应商半导体标签或客户地址不证明机器零件身份。CPC44943及8486.90须逐供货实物审查。 第84章排除明确保留：陶瓷机器零件另按69章，技术玻璃机器零件7019/7020、实验室玻璃7017。石英舟坩埚陶瓷环不自动44943；采用成品参考前审查真实材质完整复合总成特征专用适配适用排除。平板基板制造区别玻璃制造、在屏板装配PCB电子元件及CRT生产。通用阀泵机器人电子件基础设施互换工具耗材须自身边界。 UCT记载专用焊接件气体分配产品及不锈钢铝Hastelloy材料族、CNC弯切管轨道TIG焊清洗检漏三坐标。厂房基础设施其他高纯行业为边界反例；材料族不证明316L管合金配方焊丝或全部歧管成品均接受。实际零件图主要母机适配决定供应边界。 Kyocera记载精密堇青石台高纯陶瓷真空吸盘抛光板CVD相关件；吸盘不自动氧化铝。页面半导体封装芯片光学通用执行器不规定机器件BOM。CoorsTek区别重结晶CVD碳化硅炉件、浸硅SiC及SiC涂石墨替代，实际成形铸造烧成精密CNC等离子涂层清洗。原SiC粉CVD反应物外购完整涂层件为不同接口；全部陶瓷玻璃例仍须显式分类排除审查。 Ferrotec记载SiFusion多晶硅高纯石英SiC精密金属组件组装及金刚石或普通硬质合金加工替代、化学纯水清洗表面处理。多晶硅不是掺杂直拉单晶棒。清洗客户旧件须独立声明服务翻修边界，非自动新件制造。CoorsTek玻璃基板光罩基板及Ferrotec假片不自动机器参考零件。 Entegris区别真实腔壁喷淋头PVD ALD混合氧化物涂层及基材相关准备。氧化钇氧化铝涂层名不证明具体溅射靶ALD前驱体厚度配方。外购完成涂层计一次；自沉积采真实物种载反应气靶前驱完成沉积废介质捕集残余实测释放。客户晶圆良率过程等离子非零件工厂数量。 参考为声明完整供货零件配置的校准验收净实物输出1kg。Dnet/Naccepted/M同批；仅真实保留硬件或证实随货填充入Dnet。包装废品消耗检漏清洗验收料客户晶圆服务分开。条件卡覆盖真实或路线需要的原子身份，非通用材料配方。各额外合金前驱磨料焊接保护介质密封组件废物排放物种须自身有界方向查询计量。 ## 2. 产品类别识别 | 字段 | 值 | | --- | --- | | canonical_pcr_id | pcr.metal-products-machinery-and-equipment.special-purpose-machinery.parts-for-the-goods-of-subclass-44918 | | classification_refs | CPC3.0 44943 | | covered_products | 专用于主要用于44918晶锭晶圆器件IC FPD母机及掩模光罩制造修理组装专用搬运的验收零件，逐实物材质排除审查 | | excluded_products | 69章陶瓷、7017实验玻璃7019/7020技术玻璃等适用排除、通用独立件基础设施耗材客户晶圆产品或配方及清洗服务，非自动参考件 | | representative_product | 一个真实完整验收专用零件供货配置 | | production_route | 实际切弯焊加工成形烧成沉积清洗集成验收或外购完成输入，逐路线而非通用配方 | | market_state | 实际完成件及保留实物，排包装消耗试验客户晶圆服务 | ## 3. 参考流 | 字段 | 值 | | --- | --- | | What | 声明专用母机及分类边界的完整验收零件配置 | | How much | 1kg验收净实物输出 | | How well | 实际材质供货完成专用适配和验收，非通用性能净重 | | How long or cycle | 制造至本批验收，仅真实工厂试验，非客户晶圆寿命循环 | | reference_flow_link | reference_product | | 字段 | 值 | | --- | --- | | 参考数量 | 1 | | 参考产品流 | 44918子类货物的零件 `1b076837-a2aa-4682-9a61-c9a1859b99fd` | | 参考流属性 | Mass `93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66` | | 参考单位组 | Units of mass `93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66` | | 参考单位 | kg | | 必需限定信息 | 实际专用主要44918母机及功能；材质、复合完成与适用69章7017/7019/7020排除；型号图修订序列批次；供应完成地理期间；自身自制外购原料靶前驱涂层接口；纳入保留硬件填充实测状态量；排除包装试耗废品客户晶圆服务；同批校准Dnet/Naccepted/M及Qattr；自身分析库存回收及验收 | 全部限定在元数据或等效说明声明，缺失则参考不完整。 计量单元为同一声明配置的一件完整验收专用零件；本PCR的单元数量不是母机数量，校准净质量不是母机质量。 ## 4. 计量与单位规则 | rule_id | 适用对象 | 必需流属性 | 必需单位 | 规则 | | --- | --- | --- | --- | --- | | `reference_mass` | reference product | Mass | kg | M = 同一配置的一个完整验收单元的验收净质量，单位 kg；采用 cp_mass 采集。 | | `native_numerator` | all inventory rows | actual native reference property | kg; MJ; m; m3 | 保留原生分子q_ref=q_item/M。电缆m自身同构造kg/m仅物理衡算；气m3真实温压干湿密度，固体Volume须自身实物几何固体密度液体须自身组分温度密度，非通用气温压；无功率容量推质量。 | | `energy_conversion` | electricity and actual heat | Energy | MJ | 实测电力kWh×3.6=MJ匹配地理电压；供回热各自身质量焓共同零点，总扣一次净不再扣，非客户工具功率供应锅炉燃料。 | ## 5. 系统边界 ### 边界概化 | 字段 | 值 | | --- | --- | | declared_starting_condition | 真实外部原料或完成零件到厂，按实际自制外购接口 | | starting_condition_role | foreground_start | | product_classification_scope | 44918专用主要零件及完整母机范围，逐材质完成排除审查 | | recursive_input_rule | 外购完成内含上游一次，自制原料操作独立，内部转移成对 | | upstream_dataset_requirement | 实际供货牌号配方完成地区期间处理匹配 | | disclosure | 场内制造前景，未完成上游不宣称完整摇篮到门足迹 | | rule_id | 适用对象 | 规则 | source_ids | | --- | --- | --- | --- | | `gate` | foreground | 实际零件收料制造表面准备沉积集成清洗验收归属废品返工包装废物公共服务至合格放行。 | | | `make_buy` | supplier_interface | 外购完整件涂层内含上游一次，自制独立计量真实原料反应物操作；内部转移成对。原粉完成靶前驱体完成涂层件不同接口。 | | | `factory_use` | production | 仅真实零件厂检漏三坐标洁净电热验收负荷。消耗试料排Dnet保留交付另证。客户晶圆器件FPD配方厂气流在外。 | | | `bom_extension` | route | 条件卡须实际牌号配方状态供应；各缺实际合金靶前驱气焊料件废物物种自身有界方向身份查询采集。未知不同零不存在。 | | | `upstream` | links | 各实际供应地理完成期间外处理需上游接口，缺链接披露仅前景非完整足迹；专用母机陶瓷玻璃通用件排除独立审查。 | | ### 实际架构及供应变化 | variant | actual_configuration | scope_condition | | --- | --- | --- | | 专用金属复合件 | 真实声明腔喷头歧管台壳专用搬运组装更换件 | 专用主要母机适配完整供货接口，排通用厂房基础设施 | | 陶瓷玻璃例 | 实际材质完成复合供货用途69章7017/7019/7020审查 | 供应半导体应用非44943证明，不自动石英陶瓷参考 | | 表面路线 | 真实PVD ALD CVD等离子阳极化准备完成涂层对原投入 | 精确靶前驱反应物查询计量，无通用粉涂层配方 | | 工厂放行 | 实际验收配置零件校准净批真实工厂试验 | 包装试耗客户晶圆服务分开，保留填充证实 | ## 6. 过程清单结构 ### 过程图 | process_id | 过程名称 | 纳入状态 | 纳入条件 | 建模角色 | 定量参考 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | `fabrication` | 实际专用零件制造 | conditional | 仅真实金属切割弯管焊接或陶瓷成形烧成加工及外购坯后续操作；各真实路线供货完成独立声明 | foreground | 每 1 kg 参考流 | | `coating` | 实际表面及涂层制造 | conditional | 仅真实PVD/ALD等离子阳极化CVD或其他核实路线及真实靶前驱反应物实测沉积去向，无通用化学 | foreground | 每 1 kg 参考流 | | `assembly` | 零件集成及精密清洗 | required | 实际保留零件组件及真实清洗检验；外购完整模块内含材料制造一次 | foreground | 每 1 kg 参考流 | | `qualification` | 零件工厂验收 | required | 实际检漏三坐标洁净热电验收废品返工真实试料；排除客户半导体生产 | foreground | 每 1 kg 参考流 | | `dispatch` | 验收零件放行包装 | required | 实际验收专用零件配置及独立计量运输包装 | foreground | 每 1 kg 参考流 | | `services` | 未分配公共制造服务 | conditional | 仅各过程归属后同期间核对未分配公用剩余 | foreground | 每 1 kg 参考流 | ### 过程：实际专用零件制造（`fabrication`） 仅真实金属切割弯管焊接或陶瓷成形烧成加工及外购坯后续操作；各真实路线供货完成独立声明。 #### 输入 ##### 产品流 ###### 铝坯料 （`aluminium`） 仅实际计量铝坯料及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：铝坯料 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：uct-weldment ###### 316L不锈钢管 （`stainless`） 仅实际计量316L不锈钢管及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：316L不锈钢管 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：uct-weldment ###### 哈氏合金管 （`hastelloy`） 仅实际计量哈氏合金管及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：哈氏合金管 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：uct-weldment ###### 熔融石英坯 （`quartz`） 仅实际计量熔融石英坯及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：熔融石英坯 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：ferrotec-catalog ###### 氧化铝陶瓷粉 （`alumina`） 真实自身新读原氧化铝候选active35499与原金属氧化物34220身份冲突，无兼容供货配制解释，保留查询缺口。真实粉纯度粒级路线独立计量，无完整吸盘ALD前驱替用。 - 选定流：氧化铝陶瓷粉 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 氮化铝粉 （`aln`） 仅实际计量氮化铝粉及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：氮化铝粉 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 碳化硅粉 （`sic`） 真实自身新读原SiC候选active35499与碳化物34280身份冲突，半导体用途不能化解分类，留查询缺口。实际粉级相成形对CVD反应物完成舟浸硅SiC分审。 - 选定流：碳化硅粉 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：coorstek-furnace; coorstek-guide ###### 高纯石墨坯 （`graphite`） 仅实际计量高纯石墨坯及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：高纯石墨坯 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：coorstek-guide ###### 单晶硅坯 （`silicon`） 仅真实掺杂直拉单晶硅棒匹配35470及供应核实掺杂电阻率纯度形态用于真实自制件加工。非Ferrotec SiFusion多晶未掺杂硅客户成品晶圆通用硅坯。 - 选定流：单晶硅棒 `f8ca9a93-74aa-4c4a-9af8-ecbb1875c604` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：ferrotec-catalog ###### 堇青石陶瓷坯 （`cordierite`） 仅实际计量堇青石陶瓷坯及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：堇青石陶瓷坯 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：kyocera-stage ###### PFA树脂 （`pfa`） 仅实际计量PFA树脂及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：PFA树脂 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 聚乙烯醇粘结剂 （`binder`） 真实聚乙烯醇初级聚合物及自身水解分子牌号实测粘结配方，仅真实用于陶瓷成形；非聚醋酸乙烯或通用粘结。追真实脱粘反应另查排放物种非空气去向，无固定粘結比例。 - 选定流：聚乙烯醇 `cea707dd-98a3-451d-bc43-2dcc145091e9` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 金刚石磨料 （`diamond`） 实际工业金刚石粉尘粉末匹配38230独立核实磨料粒级形态自身耗用返回。非完整结合砂轮互换工具宝石，真实硬质合金工具替代须自身身份。 - 选定流：已加工的工业用钻石，天然或人造宝石或半宝石的粉未 `427ace16-590b-4f33-ac11-ad4c130205a9` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：ferrotec-catalog ###### 金属切削液 （`cutting_fluid`） 真实兼容金属切削液浓缩物及自身配方稀释库存，非所有冷液或同时计外购稀释液浓缩。自身水添加剂独立核对。 - 选定流：切削液 `576d250f-4f36-4385-939d-0f03b8f95a10` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 工艺水 （`water`） 仅实际计量工艺水及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：工艺用水 `94a04f7e-2d5c-41f0-b182-d54a3b373a02` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：ferrotec-catalog ###### 中压电力 （`fabrication_electricity`） 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 - 选定流：交流电 `3d76981f-964a-4865-b588-0e067a2a1163` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ##### 废物流 ##### 基本流 #### 输出 ##### 产品流 ##### 废物流 ###### 不锈钢加工废料 （`steel_scrap`） 仅真实外送不锈钢加工废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 39310渣或外供316L不证明自身不锈钢加工边角。 - 选定流：不锈钢加工废料 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_waste。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_waste` - 来源： ###### 铝加工废料 （`al_scrap`） 仅真实外送铝加工废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 匹配实际铸造污染废料供货处理回收接收，非所有洁净变形废料。 - 选定流：铝废料 `96c5f842-ea53-419b-b1cd-c02c479efb45` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_waste。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_waste` - 来源： ###### 熔融石英切削废料 （`quartz_waste`） 仅真实外送熔融石英切削废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 - 选定流：熔融石英切削废料 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_waste。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_waste` - 来源： ###### 氧化铝陶瓷磨削废料 （`ceramic_waste`） 仅真实外送氧化铝陶瓷磨削废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 - 选定流：氧化铝陶瓷磨削废料 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_waste。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_waste` - 来源： ##### 基本流 ###### PM10空气排放 （`dust`） 仅独立测得PM10空气排放至普通未特指空气，自身物种来源；治理后浓度乘匹配同期间流量时间及温压干湿单位修正加实测逸散，或含非空气去向证实物种衡算。捕集非销毁，未知差额非空气。 - 选定流：颗粒物 (PM10) `08a91e70-3ddc-11dd-91be-0050c2490048` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_emission。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_emission` - 来源： ### 过程：实际表面及涂层制造（`coating`） 仅真实PVD/ALD等离子阳极化CVD或其他核实路线及真实靶前驱反应物实测沉积去向，无通用化学。 #### 输入 ##### 产品流 ###### 氧化钇溅射靶 （`yttria`） 仅实际计量氧化钇溅射靶及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：氧化钇溅射靶 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：entegris-coating ###### 氧化铝溅射靶 （`alumina_target`） 仅实际计量氧化铝溅射靶及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：氧化铝溅射靶 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：entegris-coating ###### 氩气 （`argon`） 身份未解：气态名称候选active35499化学配制分类路线混合评论空，与34210稀有气体身份不兼容，不配元素Ar。真实牌号纯度相供应制造角色仍须证据。 - 选定流：氩气 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 氮气 （`nitrogen`） 真实气态N2 CAS7727-37-9空分供货自身纯度压力供应真实制造试验角色，原生Mass/kg。属性均值1.25非密度配方，来源不强气使用；外购填气件及内含气非双进口。 - 选定流：氮气 `67bb2ea6-2fd8-43c5-b227-bca12040b773` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 中压电力 （`coating_electricity`） 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 - 选定流：交流电 `3d76981f-964a-4865-b588-0e067a2a1163` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ##### 废物流 ##### 基本流 #### 输出 ##### 产品流 ##### 废物流 ##### 基本流 ### 过程：零件集成及精密清洗（`assembly`） 实际保留零件组件及真实清洗检验；外购完整模块内含材料制造一次。 #### 输入 ##### 产品流 ###### 异丙醇 （`ipa`） 真实异丙醇CAS67-63-0自身分析纯度供应形态匹配到厂化学接口，仅真实零件厂清洗；自身保留回收捕集销毁非空气及空气物种去向独立计量。 - 选定流：异丙醇 `a4a75541-e156-4e30-947c-ba067a682afd` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 硝酸 （`nitric`） 真实供货40%水溶硝酸CAS7697-37-2独立兼容工业高纯清洗接口；溶液总投量及自身实测HNO3分析水衡算分开。通用评论商品68%不是供货浓度。仅真实零件厂清洗，非客户晶圆配方。 - 选定流：硝酸 `bf883501-c052-414e-8e21-e6f53cc257ba` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 氢氟酸 （`hf`） 真实自身新读水溶HF候选active35499与无机酸34231身份冲突，无兼容供货配制解释，留查询缺口。真实浓度纯度相及自身HF水去向核实，仅真实零件清洗非客户晶圆配方。 - 选定流：氢氟酸 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 去离子水 （`di_water`） 实际化学级去离子水匹配自身供货纯度厂供应接口，独立计量漂洗回收库存；不自动超纯规格客户晶圆冲洗量。 - 选定流：去离子水 `5b3acbab-2518-4406-8736-d21f222d757a` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源：ferrotec-catalog ###### 电加热电阻 （`heater`） 真实完成非碳电加热电阻44818匹配实物供货完成型号。非CTUe参考碳QCH加热整炉功率推质量；外购已加热总成内含一次。 - 选定流：加热电阻器，碳电阻器除外 `991da6ee-1a8a-4e77-8f9c-c50615e255e7` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 晶圆卡盘电极 （`electrode`） 仅实际计量晶圆卡盘电极及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：晶圆卡盘电极 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 铜电缆 （`cable`） 真实≤1000V铜0.6/1kV电缆构造供货完成，原生Length/m及自身投裁装返库存，仅自身同构造实测kg/m换物理衡算，非功率推质量通用线。 - 选定流：低压电缆 `49101b44-20cc-46a0-adfb-af07e4cc8908` - 流属性/单位：长度 / m - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_length。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_length` - 来源： ###### 硫化丁腈密封件 （`seal`） 真实硫化丁腈橡胶密封36270仅自身配方分析固化供货适配匹配。非全部半导体密封PTFE/TPU/FFKM金属，其他配方另查身份。 - 选定流：密封件 `a9943e4e-1a21-412c-859e-df09a2b5ee6f` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 钢制螺纹紧固件 （`fastener`） 仅实际计量钢制螺纹紧固件及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：钢螺钉 `895204f6-6425-4814-afc5-cb97e530e892` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 中压电力 （`assembly_electricity`） 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 - 选定流：交流电 `3d76981f-964a-4865-b588-0e067a2a1163` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ##### 废物流 ##### 基本流 #### 输出 ##### 产品流 ##### 废物流 ###### 零件清洗废水 （`effluent`） 仅真实外送零件清洗废水及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 实际酸金属溶剂物种及外部Waste接收；排水Elementary接口非处理Waste。 - 选定流：零件清洗废水 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_waste。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_waste` - 来源： ###### 废异丙醇 （`solvent_waste`） 仅真实外送废异丙醇及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 外处理前核实废IPA水污染分析回收返回；废油冷液蒸馏余物非自动废IPA。 - 选定流：废异丙醇 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_waste。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_waste` - 来源： ##### 基本流 ###### 异丙醇空气排放 （`ipa_air`） 仅独立测得异丙醇空气排放至普通未特指空气，自身物种来源；治理后浓度乘匹配同期间流量时间及温压干湿单位修正加实测逸散，或含非空气去向证实物种衡算。捕集非销毁，未知差额非空气。 - 选定流：异丙醇 `fe0acd60-3ddc-11dd-a843-0050c2490048` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_emission。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_emission` - 来源： ###### 水蒸气空气排放 （`vapour`） 仅独立测得水蒸气空气排放至普通未特指空气，自身物种来源；治理后浓度乘匹配同期间流量时间及温压干湿单位修正加实测逸散，或含非空气去向证实物种衡算。捕集非销毁，未知差额非空气。 - 选定流：水蒸气 `fe0acd60-3ddc-11dd-ac04-0050c2490048` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_emission。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_emission` - 来源： ### 过程：零件工厂验收（`qualification`） 实际检漏三坐标洁净热电验收废品返工真实试料；排除客户半导体生产。 #### 输入 ##### 产品流 ###### 氦检漏气 （`helium`） 仅实际计量氦检漏气及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：氦检漏气 - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 工艺水 （`test_water`） 仅实际计量工艺水及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：工艺用水 `94a04f7e-2d5c-41f0-b182-d54a3b373a02` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 中压电力 （`qualification_electricity`） 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 - 选定流：交流电 `3d76981f-964a-4865-b588-0e067a2a1163` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ##### 废物流 ##### 基本流 #### 输出 ##### 产品流 ##### 废物流 ##### 基本流 ### 过程：验收零件放行包装（`dispatch`） 实际验收专用零件配置及独立计量运输包装。 #### 输入 ##### 产品流 ###### 瓦楞纸箱 （`cardboard`） 真实完成C/E/F瓦楞箱及至少80%再生纤维匹配供货构造，称自箱无内容空隙推量。运输包装排Dnet。 - 选定流：瓦楞纸板 `8bde297e-98df-463f-bcb4-0db52bf6e0b5` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 低密度聚乙烯包装膜 （`film`） 实际PE-LD非自粘非泡沫非增强非层压无支撑包装薄膜箔，核实供货牌号refinternal1 Mass/kg；非任意PE膜半导体保护聚合物。 - 选定流：低密度聚乙烯薄膜（PE-LD） `2cecd3a7-d90e-44b4-aec5-1d9dfb907477` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 木托盘 （`pallet`） 真实兼容木EURO托盘供应使用质量库存返回，非通用金属塑料或默认托盘重量。运输包装在Dnet外。 - 选定流：木托盘（欧标） `96b2b9ac-cfb6-46bf-8ad1-c056e338950a` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 中压电力 （`dispatch_electricity`） 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 - 选定流：交流电 `3d76981f-964a-4865-b588-0e067a2a1163` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ##### 废物流 ##### 基本流 #### 输出 ##### 产品流 ###### 半导体制造设备专用零件 （`reference_product`） 真实验收专用于主要用于声明44918母机且兼容8486.90边界的完成件。逐项审查69章陶瓷技术实验室玻璃排除、复合完成专用适配。无通用件基础设施耗材客户晶圆服务包装试耗作参考质量。 - 选定流：44918子类货物的零件 `1b076837-a2aa-4682-9a61-c9a1859b99fd` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：1 千克 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_mass` - 来源：un-cpc-44943; census-semiconductor ##### 废物流 ##### 基本流 ### 过程：未分配公共制造服务（`services`） 仅各过程归属后同期间核对未分配公用剩余。 #### 输入 ##### 产品流 ###### 中压电力 （`electricity`） 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 - 选定流：交流电 `3d76981f-964a-4865-b588-0e067a2a1163` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ###### 天然气工业供热 （`heat`） 实际购中国天然气区域工业热匹配交付总热值Energy/MJ及供应期间。独立计量供回质量自身焓共同零点，总发票扣一次净发票不再扣；供应锅炉燃料非场内燃烧。 - 选定流：区域或工业热, 天然气 `eb581eb3-c707-41a0-b4e6-ee1854551714` - 流属性/单位：交付能量 / MJ - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_energy。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_energy` - 来源： ###### 自来水 （`tap_water`） 仅实际计量自来水及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 - 选定流：自来水 `d1e0e36c-07f0-4a75-bdcb-efb5d9e2ac36` - 流属性/单位：质量 / kg - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_material。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_material` - 来源： ###### 压缩空气 （`compressed_air`） 真实供压缩空气原生Volume/m3及自身参考真实温压干湿组分实测供返。同状态密度仅物理衡算，无固体体积通用温压或目录流量工时。 - 选定流：压缩的空气 `46e2b1e4-5a4e-4579-b6a2-65b03f9ce825` - 流属性/单位：体积 / m3 - 数量规则：对 q_item 应用 normalize_mass；reference_mass；cp_gas。 - 数值来源模式：前景记录 (`foreground_record`) - 适用范围：场址特定 (`site_specific`) - 归一化基准：每 1 kg 参考流；采集基准为每个验收成品单元 - 基准类型：参考流 (`reference_flow`) - 证据类型：采集记录 (`collected_record`) - 采集协议：`cp_gas` - 来源： ##### 废物流 ##### 基本流 #### 输出 ##### 产品流 ##### 废物流 ##### 基本流 ## 7. 分配与共产品处理 | rule_id | 适用对象 | 规则 | source_ids | | --- | --- | --- | --- | | `causal` | site | 优先分离配置及子过程；按实测因果负荷、运行时间或适当物理驱动分配公共剩余，保留分子分母记录及不确定性。不得平均无关加工功能或不同供货配置，也不得对全部公用工程自动按零件质量分配。 | | | `rejects` | accepted | 在合格输出归属 Q 中纳入实际废品、返工及合格试验负荷；分母仅含验收净质量或数量。分离回收转移及处理，不假定替代产品抵扣或再生上游零负荷。 | | ## 8. 前景数据采集、计算与质量规则 ### 数据采集协议 | protocol_id | process_id | flow_role | record_type | raw_fields | collection_method | unit | frequency | temporal_coverage | site_scope | aggregation_rule | quality_evidence | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | cp_mass | dispatch | reference product | weighing | 型号；配置；序列号；验收净质量 M | Weigh the accepted complete unit on a calibrated scale, excluding transport packaging; reconcile the same configuration and acceptance record. | kg | 每个验收批次 | 同一制造期间 | 同一配置工厂 | M = 同一配置的一个完整验收单元的验收净质量 | 校准、皮重、配套附件及验收记录 | | cp_material | all | actual inputs | meter_issue | 具体物种牌号；供应状态；投料；各项水分密度或含量；自制外购；库存；Q；N | 同一期间按独立交换核对计量及仓储、配方和成对返回；Q 含废品或返工负荷，保留各项自身分析。 | kg | 每批或连续表 | 同一制造期间 | 同一配置工厂及供应商 | 分配数量 / 验收单元数量 | 牌号或成分检验、计量及库存 | | cp_energy | all | electricity and heat | meter | 各过程表；总进口；实际场内供能量（含发电量）；出口；储能；供回蒸汽各质量温压焓；已净发票；Q；N | 核对同一期间和单位的各过程表，共享服务仅尚未分配剩余；调查负剩余。供应或返回蒸汽各用自身 kg 和 MJ/kg，共同零点，返回仅扣一次。 | MJ | 连续表及各试验 | 同一制造期间 | 同一配置及场址 | 分配能量 / 验收单元数量 | 校准表、供电接口、热力及分配不确定性 | | cp_waste | all | specific waste | transfer | 各物流质量和自身含水或含量；期初末库存；内部返回；外送处理；Q；N | 称重、取样及处理转移，区分返回再用、回收及处置，不能推定替代抵扣。 | kg | 每批转移 | 同一制造期间 | 同一配置场址及处理接口 | 分配废物 / 验收单元数量 | 废物联单、取样及库存 | | cp_emission | all | specific species/compartment | species_measurement | 实际物种介质；浓度；排气或液流；水分温压基准；捕集或销毁；各项分析；Q；N | 采用匹配物种及介质实测或核实实际技术因子；调查闭合，捕集不是销毁，差额不是空气排放。 | kg | 实际试验及排放期间 | 同一制造期间 | 同一配置场址边界 | 分配排放 / 验收单元数量 | 采样流量和综合不确定性 | | cp_gas | all | specific supplied gas | meter | 压缩空气身份；交付体积；实际温压或标准条件；密度；Q；N | 按实际状态计量压缩空气体积；质量换算用对应实测密度，不用燃气通用因子。 | m3 | 每批或连续表 | 同一制造期间 | 同一配置及供应接口 | 分配体积 / 验收单元数量 | 温压流量密度及校准 | | cp_length | assembly | specific native-length cable | length_measurement | 电缆构造导体绝缘供应商投料裁切安装返回长度自身kg/m与Q和N | 测量实际匹配电缆长度成对返回库存；同构造实测kg/m仅实物衡算。保留原生m，不由电额定推质量。 | m | 每批安装 | 同一制造期间 | 同部件配置场址供应商 | 分配长度 / 验收单元数量 | 构造长度库存质量记录 | 中文称重协议说明：使用经校准的秤称量一件完整验收零件，排除运输包装，核对同一配置及验收记录；协议字段采用对应的机器可读称量指令。 原始期间协议：N 为同一配置验收单元数，D 为该批校准验收净质量之和，M=D/N。每项 Q 为同期间归属数量，含废品、返工和工厂试验负荷；先 q_item=Q/N，再 q_ref=Q/D。包装及废品质量不入 D，保留实际各项原单位和各项成分、库存及反应记录。 ### 计算规则 | rule_id | Applies to | Formula or rule | Inputs | Output | source_ids | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | `normalize_mass` | all inventory rows | q_ref = q_item / M; q_item = 每个验收成品单元的交换数量; q_ref = 每 1 kg 参考流的交换数量。 | q_item; M; cp_mass | q_ref | | ### 数据质量要求 | requirement_id | Applies to | Requirement | Evidence | | --- | --- | --- | --- | | complete_bom | actual configuration | 覆盖实际全部交换，自制外购及附件、填充、试料分离；缺口明确 | 实际 BOM、路线及供应商 | | supplied_reference_config | 实际配置 | 真实验收专用于主要用于声明44918母机且兼容8486.90边界的完成件。逐项审查69章陶瓷技术实验室玻璃排除、复合完成专用适配。无通用件基础设施耗材客户晶圆服务包装试耗作参考质量。 Dnet仅校准保留净实物，记录图修订序批Naccepted，无目录质量。 一个完整验收单元为一件完整验收专用零件，非母机。 | un-cpc-44943; census-semiconductor; actual drawing/shipment/calibration | | mass_period | cohort | 同一配置期间和验收记录、校准质量及库存；不跨家族均值 | 校准及期间台账 | | balance_uncertainty | physical balances | 按各项自身水分、密度、含量、反应及成对返回核对，与综合不确定性比较 | 实测、采样、反应及分配证据 | | cohort_raw | cohort | Naccepted、Dnet与Qattr对应同一配置期间。Dnet为校准合格净质量之和；M=Dnet/Naccepted，q_item=Qattr/Naccepted，q_ref=Qattr/Dnet。Qattr包含废品返工和工厂试验，Dnet排除包装废品及消耗试料。保留每项原单位。 | 校准及实际期间台账 | | species_sampling | emissions | 治理后物种浓度乘匹配同期间气液流量及持续时间，校正温压干湿与单位；逸散独立实测。未知差额不成为空气释放，捕集不是销毁；每项金属化学或水流采用自身含量水分密度库存反应及成对返回。 | 实际浓度、流量、时段及状态记录 | | contained_assay | physical balances | 各输入产品废料污泥液体或释放均用自身实测总质量乘自身含量分析及干湿基准；总合金或污泥不是所含金属。水各流用自身水分比例及实际温度密度，包含产品保留、反应、蒸发、排水及期初末库存，内部返回成对抵消。 | 各项实测化验含水及库存 | | solvent_fates | solvent records | 回收返回、产品保留、捕集液体或滤材、已证实销毁及废水或介质分别记录；回收保留捕集及废水为非空气去向，捕集不是销毁。未知差额须调查，不能转成空气释放。 | 实际物料采样及治理记录 | | utility_residual | energy | 同期间核对进口加实际场内供能量（含发电量）减出口及储能变化与机械制造表面处理集成试验发运负荷；公用行仅未分配余量。负余量调查期间单位及综合不确定性，不截零。 | 校准分表及总表 | | heat_return | thermal interface | 总供热为实测供应kg乘自身MJ/kg减独立实测返回kg乘返回自身MJ/kg，采用共同零点及实测温压；总供应返回仅扣一次，已净计费不再次扣。物理蒸汽或冷凝水质量与热能分开，供应者锅炉燃料不是场内燃烧。 | 供应返回各计量热力状态及发票 | | dust_overlap | actual particulate releases | PM10为实测粒径区间总颗粒质量；实际存在时独立实测所含结晶二氧化硅或其他物种，该含量不是新增总颗粒质量。各实际物种须独立身份及计量行，明确LCIA报告约定，避免同一释放重复全量表征，不强制虚构硅释放。 | 各实际试料物种及粒径采样、LCIA报告约定 | | machine_architecture | 实际配置 | 保持全部专用晶锭晶圆器件IC FPD母机掩模光罩制造修理器件IC组装搬运。金属复合精密件集成台歧管真实涂层件不同，陶瓷玻璃排除逐审。 | census-semiconductor; actual host fit/material/part character | | test_install_roles | 实际配置 | 真实工厂检漏洁净三坐标热电试料归属废品返工入Qattr及库存回收非空气去向。消耗试验客户晶圆配方包装在Dnet外；保留填充仅证实验收交付，非容量假设。 | actual test/acceptance/shipment records | | provider_gaps | links | 每个实际上游和处理匹配状态地理期间；未核实不可作为完整足迹 | 直接记录及替代披露 | PM10为实测粒径区间总颗粒质量，所含单独实测化学物种不是额外总颗粒质量；按实际试料和释放增补各具体物种行，明确LCIA报告约定，避免重复全量表征。 | requirement_id | Applies to | Requirement | Evidence | | --- | --- | --- | --- | | optical_acceptance | 实际配置 | 真实PVD ALD混合等离子CVD阳极化与原靶前驱完成涂层接口独立声明。基材沉积化学以实测几何厚密分析库存计，无固定厚度粉作ALD前驱；外购涂层件内含一次。 | entegris-coating; actual route/precursor/target/deposition/stock records | ### 供应身份及原生计量条件 | requirement_id | Applies to | Requirement | Evidence | | --- | --- | --- | --- | | qualified_cutting_fluid | cutting_fluid | 真实兼容金属切削液浓缩物及自身配方稀释库存，非所有冷液或同时计外购稀释液浓缩。自身水添加剂独立核对。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_water | water | 仅实际计量工艺水及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_test_water | test_water | 仅实际计量工艺水及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_ipa | ipa | 真实异丙醇CAS67-63-0自身分析纯度供应形态匹配到厂化学接口，仅真实零件厂清洗；自身保留回收捕集销毁非空气及空气物种去向独立计量。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_cable | cable | 真实≤1000V铜0.6/1kV电缆构造供货完成，原生Length/m及自身投裁装返库存，仅自身同构造实测kg/m换物理衡算，非功率推质量通用线。 原生属性及单位组：838aaa23-0117-11db-92e3-0800200c9a66; 838aaa22-0117-11db-92e3-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_seal | seal | 真实硫化丁腈橡胶密封36270仅自身配方分析固化供货适配匹配。非全部半导体密封PTFE/TPU/FFKM金属，其他配方另查身份。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_fastener | fastener | 仅实际计量钢制螺纹紧固件及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_heater | heater | 真实完成非碳电加热电阻44818匹配实物供货完成型号。非CTUe参考碳QCH加热整炉功率推质量；外购已加热总成内含一次。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_nitrogen | nitrogen | 真实气态N2 CAS7727-37-9空分供货自身纯度压力供应真实制造试验角色，原生Mass/kg。属性均值1.25非密度配方，来源不强气使用；外购填气件及内含气非双进口。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_al_scrap | al_scrap | 仅真实外送铝加工废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 匹配实际铸造污染废料供货处理回收接收，非所有洁净变形废料。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_ipa_air | ipa_air | 仅独立测得异丙醇空气排放至普通未特指空气，自身物种来源；治理后浓度乘匹配同期间流量时间及温压干湿单位修正加实测逸散，或含非空气去向证实物种衡算。捕集非销毁，未知差额非空气。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_vapour | vapour | 仅独立测得水蒸气空气排放至普通未特指空气，自身物种来源；治理后浓度乘匹配同期间流量时间及温压干湿单位修正加实测逸散，或含非空气去向证实物种衡算。捕集非销毁，未知差额非空气。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_dust | dust | 仅独立测得PM10空气排放至普通未特指空气，自身物种来源；治理后浓度乘匹配同期间流量时间及温压干湿单位修正加实测逸散，或含非空气去向证实物种衡算。捕集非销毁，未知差额非空气。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_cardboard | cardboard | 真实完成C/E/F瓦楞箱及至少80%再生纤维匹配供货构造，称自箱无内容空隙推量。运输包装排Dnet。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_film | film | 实际PE-LD非自粘非泡沫非增强非层压无支撑包装薄膜箔，核实供货牌号refinternal1 Mass/kg；非任意PE膜半导体保护聚合物。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_pallet | pallet | 真实兼容木EURO托盘供应使用质量库存返回，非通用金属塑料或默认托盘重量。运输包装在Dnet外。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_electricity | electricity | 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200c9a66; 93a60a57-a3c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_heat | heat | 实际购中国天然气区域工业热匹配交付总热值Energy/MJ及供应期间。独立计量供回质量自身焓共同零点，总发票扣一次净发票不再扣；供应锅炉燃料非场内燃烧。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-14da-a746-0800200c9a66; 93a60a57-a3c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_tap_water | tap_water | 仅实际计量自来水及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_compressed_air | compressed_air | 真实供压缩空气原生Volume/m3及自身参考真实温压干湿组分实测供返。同状态密度仅物理衡算，无固体体积通用温压或目录流量工时。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-22da-a746-0800200c9a66; 93a60a57-a3c8-12da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_di_water | di_water | 实际化学级去离子水匹配自身供货纯度厂供应接口，独立计量漂洗回收库存；不自动超纯规格客户晶圆冲洗量。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_binder | binder | 真实聚乙烯醇初级聚合物及自身水解分子牌号实测粘结配方，仅真实用于陶瓷成形；非聚醋酸乙烯或通用粘结。追真实脱粘反应另查排放物种非空气去向，无固定粘結比例。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_diamond | diamond | 实际工业金刚石粉尘粉末匹配38230独立核实磨料粒级形态自身耗用返回。非完整结合砂轮互换工具宝石，真实硬质合金工具替代须自身身份。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_nitric | nitric | 真实供货40%水溶硝酸CAS7697-37-2独立兼容工业高纯清洗接口；溶液总投量及自身实测HNO3分析水衡算分开。通用评论商品68%不是供货浓度。仅真实零件厂清洗，非客户晶圆配方。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_silicon | silicon | 仅真实掺杂直拉单晶硅棒匹配35470及供应核实掺杂电阻率纯度形态用于真实自制件加工。非Ferrotec SiFusion多晶未掺杂硅客户成品晶圆通用硅坯。 原生属性及单位组：93a60a56-a3c8-11da-a746-0800200b9a66; 93a60a57-a4c8-11da-a746-0800200c9a66 | 供应规格及实际原生计量 | | qualified_fabrication_electricity | fabrication_electricity | 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 | 匹配供应接口分表记录 | | qualified_coating_electricity | coating_electricity | 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 | 匹配供应接口分表记录 | | qualified_assembly_electricity | assembly_electricity | 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 | 匹配供应接口分表记录 | | qualified_qualification_electricity | qualification_electricity | 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 | 匹配供应接口分表记录 | | qualified_dispatch_electricity | dispatch_electricity | 真实中国用户1–35kV交付电匹配场供应期间电压，kWh×3.6=MJ原生Energy；先分过程公共仅余量，无客户工具额定功率跨地默认。 | 匹配供应接口分表记录 | | outgoing_steel_scrap | steel_scrap | 仅真实外送不锈钢加工废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 39310渣或外供316L不证明自身不锈钢加工边角。 | 取样称重库存实际接收联单 | | outgoing_quartz_waste | quartz_waste | 仅真实外送熔融石英切削废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 | 取样称重库存实际接收联单 | | outgoing_ceramic_waste | ceramic_waste | 仅真实外送氧化铝陶瓷磨削废料及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 | 取样称重库存实际接收联单 | | outgoing_effluent | effluent | 仅真实外送零件清洗废水及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 实际酸金属溶剂物种及外部Waste接收；排水Elementary接口非处理Waste。 | 取样称重库存实际接收联单 | | outgoing_solvent_waste | solvent_waste | 仅真实外送废异丙醇及自身分析物种水分污染、称量转移库存成对内部返回披露外部接收处理。区别溶剂捕集非空气去向，非新料或未知空气差额，无默认抵扣。 外处理前核实废IPA水污染分析回收返回；废油冷液蒸馏余物非自动废IPA。 | 取样称重库存实际接收联单 | | requirement_id | Applies to | Requirement | Evidence | | --- | --- | --- | --- | | unconfirmed_aluminium | aluminium | 仅实际计量铝坯料及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_stainless | stainless | 仅实际计量316L不锈钢管及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_hastelloy | hastelloy | 仅实际计量哈氏合金管及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_quartz | quartz | 仅实际计量熔融石英坯及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_alumina | alumina | 真实自身新读原氧化铝候选active35499与原金属氧化物34220身份冲突，无兼容供货配制解释，保留查询缺口。真实粉纯度粒级路线独立计量，无完整吸盘ALD前驱替用。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_aln | aln | 仅实际计量氮化铝粉及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_sic | sic | 真实自身新读原SiC候选active35499与碳化物34280身份冲突，半导体用途不能化解分类，留查询缺口。实际粉级相成形对CVD反应物完成舟浸硅SiC分审。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_graphite | graphite | 仅实际计量高纯石墨坯及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_cordierite | cordierite | 仅实际计量堇青石陶瓷坯及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_pfa | pfa | 仅实际计量PFA树脂及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_yttria | yttria | 仅实际计量氧化钇溅射靶及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_alumina_target | alumina_target | 仅实际计量氧化铝溅射靶及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_argon | argon | 身份未解：气态名称候选active35499化学配制分类路线混合评论空，与34210稀有气体身份不兼容，不配元素Ar。真实牌号纯度相供应制造角色仍须证据。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_hf | hf | 真实自身新读水溶HF候选active35499与无机酸34231身份冲突，无兼容供货配制解释，留查询缺口。真实浓度纯度相及自身HF水去向核实，仅真实零件清洗非客户晶圆配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_electrode | electrode | 仅实际计量晶圆卡盘电极及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | | unconfirmed_helium | helium | 仅实际计量氦检漏气及独立核实牌号供应完成实物状态供应接口用于本零件路线。外购完整件内含材料制造一次，自制记真实原料操作；无通用配方。 | 自身供货状态规格计量 | ## 9. 校验规则 | rule_id | 适用对象 | 规则 | source_ids | | --- | --- | --- | --- | | `identity` | dataset | 核实验收44918专用件实际晶锭晶圆器件IC FPD掩模光罩组装搬运母机。显式审查69章陶瓷件7019/7020技术7017实验玻璃通用独立件基础设施耗材。各交换自身化学牌号供货原生属性供应，未知非零。 | | | `denominator` | all inventory rows | 全部清单采用同一验收批次及共同期间。核实校准验收净质量和 N，废品及包装质量排除。核对 q_item=Q/N 后按同一平均 M 归一化；混合配置无效。 | | | `double_count` | make_buy | 核对完整外购模块与自制材料及操作、保留填充或附件与工厂消耗、成对内部转移与外部投入。每项实际负荷计一次。 | | | `water_close` | physical water records | 每项采用自身实测水比例、密度及干湿基准：新水及输入水分、反应水和期初库存减期末库存、产品保留、排水和蒸发；内部返回成对抵消。按采样、仪表及分配综合不确定性调查实测闭合，无通用容差。 | | | `species_close` | material and chemical records | 每种含金属或化学物分别闭合，采用各输入、产品、废料、污泥、液体及释放自身匹配分析和干湿基准、反应计量及库存。总质量不是含元素量。不得将全部清单质量规则用于能量或运输。 | | | `solvent_close` | solvent records | 区分保留溶剂、回收返回、捕集液体或介质、已证实销毁、废水或非空气剩余及实际空气物种释放。捕集不是销毁；不明差额应调查，不分配至空气。 | | | `utility_close` | energy records | 按同一期间及单位核对外购进口、实际场内供能量（含发电量）、出口及储能变化和已分配机械制造、表面处理、集成、试验或包装负荷。共享行仅未分配剩余；按期间、单位及综合计量不确定性调查负剩余，不截零。 | | | `steam_close` | steam and condensate | 相对于共同零点，按计量压力或温度采用供应质量乘供应自身 MJ/kg 和返回质量乘返回自身 MJ/kg。总供应只扣返回一次；已净发票不得再扣。物理蒸汽或冷凝水质量衡算独立于能量。 | | | `species_emissions` | air releases | 独立校验每种排放物及环境介质。燃料碳衡算不能单独确立 CO 或 NOx。NO2 质量不是以 NO2 当量报告的 NOx；报告约定与实际物种身份保持不同。 | | ## 10. 发布数据集画像 | 字段 | 值 | | --- | --- | | dataset_role | primary_dataset | | downstream_use | secondary_dataset; background_dataset; process; lifecyclemodel | | allowed_use | 实际配置工厂生产前景数据及明确已完成上游链接的模型 | | excluded_use | 跨零件功能等价客户半导体晶圆配方默认质量制造因子缺供应完整足迹 | | required_metadata | 第3节限定及原始期间分母、实际架构、自制外购和边界 | | required_quality_disclosure | 采集覆盖、供应商或身份或配方缺口、分配和综合不确定性、全部条件及排除 | | update_trigger | 型号或架构、配方、供应状态或地区、计量、工厂试验或处理路线改变 | ## 11. 数据源 | Source id | Type | Reference | Used for | | --- | --- | --- | --- | | uct-weldment | handbook | Ultra Clean Holdings, Inc. - Products; publication date unconfirmed; actual original snapshot 2026-10-03; https://www.uct.com/products/weldment/default.aspx | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | kyocera-stage | handbook | Kyocera Technology Supporting the Semiconductor Industry ｜ KYOCERA; publication date unconfirmed; actual original snapshot 2026-10-03; https://global.kyocera.com/prdct/web_solution/semicon/index.html | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | coorstek-furnace | handbook | Silicon Carbide Furnace Components; edition unconfirmed; footer ©2025 CoorsTek 01711 H; https://www.coorstek.com/media/4254/semiconductor-furnace-components-silicon-carbide-components.pdf | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | coorstek-guide | handbook | Semiconductor Related Products; edition unconfirmed; back cover ©2024.1 CoorsTek GK; URL2025 and PDF creation2025 do not prove publication date; https://www.coorstek.com/media/8933/2025_products_guide_eng_ver2.pdf | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | ferrotec-catalog | handbook | Semiconductor Equipment-related Business; actual edition code 202508G20-EN; ©2025 Ferrotec Corporation; https://www.ferrotec.co.jp/assets/pdf/en/catalog_2025_2.pdf | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | entegris-coating | handbook | Three Successful Precision Engineered Techniques for Coating Plasma Chamber Components; ©2019 Entegris;9000-10300FRA-0419; https://www.entegris.com/content/dam/web/resources/pictograms/pictogram_advanced-coating_10300.pdf | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | un-cpc-44943 | official_guidance | Central Product Classification (CPC) Version 3.0 Explanatory Notes; 30 June 2025; https://unstats.un.org/unsd/classifications/Econ/Download/In%20Text/CPC_Ver_3.0_Exp_Notes_30Jun2025.pdf | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 | | census-semiconductor | official_guidance | Schedule B Book - Chapter 84; 2022 Schedule B chapter; https://www.census.gov/foreign-trade/schedules/b/2022/c84.html | 产品架构或类别边界；非工厂配方或数量默认值 |